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SuperView W1光学3D表面轮廓仪 HDW1-3D

一、产品说明:

SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D3D参数作为评价标准。

二、 产品主要规格参数:

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×10242048×20482592×1944可选)

光学Zoom1×,(0.75×,0.5×可选)

干涉物镜:2.5×,5×,10×,20×,50×

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电控

XY横向分辨率:≤0.4μm

Z轴行程:≥100mm

Z向分辨率:0.1nm

单次Z向扫描范围:10.3mm,厚度重复性≤1nm

Z向扫描速度:≥45μm/s

可测样品高度:≥100mm

可测样品反射率:0.05%-100%

水平调整:±5°

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度<0.7%,重复性<0.1% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效

物镜倍率

2.5×

10×

20×

50×

数值孔径

0.075

0.13

0.3

0.4

0.55

可测样品角度

4.3°

7.5°

17.5°

23.5°

33.4°

光学分辨率@550nm(µm)

3.7

2.1

0.92

0.69

0.5

焦深(µm)

48.6

16.2

3.04

1.71

0.9

工作距离(mm)

10.3

9.3

7.4

4.7

3.4

  产品功能:

1.一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。

2.测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

3.测量中提供拼接测量功能。

4.分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。

5.分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

6. 分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

四、应用领域:

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

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五、性能特色:

高精度、高重复性

采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;

独特的隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得极高的测量重复性;

一体化操作的测量分析软件

测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;

可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;

结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;

几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;

一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;

可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D3D参数。

精密操纵手柄

集成XYZ三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

双通道气浮隔振系统

既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统,在无外接气源的条件下也可稳定工作。